2020/11/3 10:37:03
所需技术成熟度：中试技术
技术需求企业拟投资金额(万元)：500-1000万元
技术需求简述：大直径CVD片的研磨抛光技术:直径在50毫米以上的CVD片的研磨平整度可保证公差在3微米以内，抛光的光洁度可保证误差在0.05微米以内。
