技术成熟度:实验室技术
转让方式:技术转让
预计投资资金(万元):500-1000万元
成果简述:通过高效率端面泵浦结构方式得到基模红外 1064nm 激光,再经过多级放大
结构,得到高功率的红外高光束质量基频光,再通过高效率变频技术,最后得到
5W、50kHz、25ns 脉冲紫外 355nm 激光。光束质量因子 M2<1.3,功率长期稳定性<±2%。内部光学结构采用紫外胶光固化粘接,结构小巧牢靠,对环境适应程度高。通过紫外显微物镜的聚焦,聚焦光斑直径在μm 级别,加工尺寸小于 10μm。通过紫外激光器的开发,相应的也取得了更高功率的红外和绿光高光束质量激光技术。