技术成熟度：产业化技术
转让方式：技术转让
预计投资资金(万元)：50万以下
成果简述：概况：
紫外激光器在激光加工方面体现其独特的优势：紫外激光器的波长短，聚焦小，能实现精细加工；紫外激光器进行激光加工时直接破坏材料的化学键，是“ 冷”处理过程，热影响区小：大多数材料能有效地吸收紫外光，可加工许多红外和可见光激光器加工不了的材料。全固态紫外激光器具有体积小、效率高、重复频率高，无需更换气体、无需掩模、易维护等优点。因此它在生物工程、材料制备、全光光学器件制作，特别是集成电路板及半导体工业等激光加工领域获得了广泛的应用。
目前紫外激光器的发展非常迅速，瓦级功率以上高重频全固态激光器
不断应用于加工，国内外研究机构和公司不断向更高功率（数十瓦级）、更
高重频（几十甚至几百 kHz）方向发展。目前我们已经研制成功了 5W 、50kHz的紫外 355nm 激光器，脉宽 25ns。已经做成样机，性能稳定，用于 LED 蓝
宝石晶圆裂片划线，划线深度达到 200μm，线宽小于 10μm，划痕光滑均
匀，几乎无热影响区。
技术特点：
通过高效率端面泵浦结构方式得到基模红外 1064nm 激光，再经过多级
放大结构，得到高功率的红外高光束质量基频光，再通过高效率变频技术，
最后得到 5W、50kHz、25ns 脉冲紫外 355nm 激光。光束质量因子 M2<1.3，功率长期稳定性<±2%。内部光学结构采用紫外胶光固化粘接，结构小巧牢
靠，对环境适应程度高。通过紫外显微物镜的聚焦，聚焦光斑直径在μm 级
别，加工尺寸小于 10μm。通过紫外激光器的开发，相应的也取得了更高功
率的红外和绿光高光束质量激光技术。
