技术成熟度：产业化技术
转让方式：技术入股
预计投资资金(万元)：500-1000万元
成果简述：本发明为了弥补已有技术的缺陷，提供一种真空抽气系统，该真空抽气系统可以抑制返油问题，提高真空腔室洁净度。本发明结构设计合理，利用等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低，不需要其他工作介质。
2019 授权发明专利一篇。
技术成熟度：产业化技术
转让方式：技术入股
预计投资资金(万元)：500-1000万元
成果简述：本发明为了弥补已有技术的缺陷，提供一种真空抽气系统，该真空抽气系统可以抑制返油问题，提高真空腔室洁净度。本发明结构设计合理，利用等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低，不需要其他工作介质。
2019 授权发明专利一篇。
