技术成熟度：中试技术

转让方式：技术转让

预计投资资金(万元)：500-1000万元

成果简述：成果简介
基于纳米材料的气敏传感器在环保、汽车工业、国防等许多领域有着潜在的用途。根据测量原理的不同，气敏传感器可大致分为半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等多种类型。
本装置主要针对半导体式气敏传感器的研发而设计，用来表征纳米半导体材料对不同种类和浓度气氛的电学响应规律，以评价待测材料气敏性质的优劣，主要检测内容包括样品在不同栅压下的气敏响应曲线、样品在不同气氛下的场效应管转移特性曲线和输出特性曲线等等。该装置允许对最多 4 个样品进行同时测量，电流测量的最高分辨率为 10pA，样品的测量温度可从室温变至 600K。目前，装置的原型机已经制作完成（图 1），配套软件也已开发完毕（图 2），只是在设备的整体集成方面尚需完善。
知识产权
与软硬件设计相关的技术秘密
市场前景及效益分析
该设备的用户主要为从事纳米气体传感器研发的科研单位及生产厂家。基于
纳米材料的气敏传感器在环保、可穿戴电子设备、汽车工业、国防工业等领域具
有很多潜在的用途，相关的研发投入也日益增长，作为必要的研发工具，纳米材
料气敏性质测量装置应具有比较好的市场前景。