技术成熟度：实验室技术

转让方式：技术转让

预计投资资金(万元)：500-1000万元

成果简述：成果简介
氧化铈抛光液是以微米或亚微米级 CeO 2 为磨料的氧化铈研磨液，该研磨液具有分散性好、粒度细、粒度分布均匀、硬度适中等特点。适用于宝石，高精密光学仪器，光学镜头，集成电路等方面的精密抛光。以期打破精密仪器的抛光依赖进口的局面。
知识产权
二氧化铈微球粒度标准物质 GBW 12024，GBW 12025，GBW 12026
市场前景及效益分析
目前国际上微电子器件的精密抛光大多为国外公司所垄断，虽然抛光精度高，但成本也很高，发展国内自主知识产权的抛光技术被提上议事日程。纳米级氧化铈抛光液的研发，使替代国外产品成为可能，存在巨大的市场空间。