技术成熟度：产业化技术

转让方式：技术转让

预计投资资金(万元)：500-1000万元

成果简述：项目简介：
本系统引入高压脉冲辉光放电技术，将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀
膜技术相结合，可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、
介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。TiN、TiC、TiCN、TiAlN 等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜，在机械、电子、光学以及医学等方面有广阔具有应用前景。
市场需求：
机械行业
陶瓷层性能：
硬度：500 ~ 2400 Hv； 耐热性：1000 ~ 1500 K； 厚度： ~ 300mm；
粗糙度 ：1 ~ 10 mm； 摩擦系数：0.01 ~ 0.5
设备技术指标：
1、电源输出功率：～ 500KW，设前级隔离变压器，对电网电压的干扰小；
2、计算机实时控制电流、电压、功率、频率、脉宽及时间曲线等；
3、在电源设计范围内，正、负向脉冲波形可独立组合调整，；
4、可设定恒流、恒压和恒功率三种输出方式，恒流、恒压在线无扰动转换；
5、电流和电压正、负向峰值及脉冲宽度单独可调，稳定精度 2%；
6、脉冲频率范围为 50 ～ 2000Hz，占空比 5～95％之间可调；
7、主体系统包括：机械传输系统、等离子体电解氧化系统、冷却循环系统、
微机控制系统；
8、辅助系统包括：纯水制取系统、水处理系统、排风系统、温控系统、电
解液检测系统；
[减震器、燃料喷射泵、齿轮、轴承、钢领、活塞、活塞环等]
加工行业
[硬质合金刀具、精密模具、精密加工用锯等]F 生物医用
[血管支架、心脏瓣膜、髋膝关节、外科手术用锯等]
光学行业应用 [红外窗口、硅太阳能电池等]
电子行业 [硬盘、磁头、光盘等存储介质、场发射显示器等]