技术成熟度：中试技术

转让方式：技术转让

预计投资资金(万元)：1000万以上

成果简述：概况：
高度集成化、小型化、高频率、低功耗是未来无线通信系统发展的必然趋势。射频收发组件小型化的关键技术瓶颈是滤波器和振荡器的性能限制。基于 MEMS 谐振子的高性能射频微纳谐振器件是取代陶瓷/石英振荡器和滤波器等片外组元的理想元件。我们研制的高Q射频MEMS谐振器，基频可达149 MHz，高阶频率达868 MHz，大气中Q值> 8000。与振荡电路电路集成构成高性能 MEMS 振荡器，相位噪声在 1kHz 达到-68 dBc/Hz，10 kHz 达到-95 dBc/Hz，在 25-80℃，频率温度系数：-25.2524 ppm/℃，短期稳定度小于±1 ppm，中期稳定度：-8 ppm ~ 5 ppm。这些性能达到国际 好水平。在新谐振原理的器件设计、加工、测试等关键技术取得了突破，申请了 11 项国家发明专利，授权 4 项。MEMS 振荡器将在 4G 通信终端、 GPS、雷达、射频识别等军民两用高技术领域发挥重要作用。
技术特点：
可集成的高性能微纳机电射频谐振器件是目前已知技术方案中能满足未来无线通信发展要求的理想器件。具有以下优势：
1、具有高品质因子Q，提高电路和系统性能；
2、与 IC 工艺兼容，易实现单片集成和系统小型化，降低成本；
3、可控制性（自开关）；可扩展性（带宽、频率可调）；可补偿性（温度补偿电路，频率输出一致性），可简化射频电路和系统。