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燃烧合成制备多晶硅铸锭用Si3N4脱模剂

2018/10/15 11:26:35

技术成熟度:产业化后期技术

转让方式:技术入股

预计投资资金(万元):1000万以上

成果简述:本项目开发成功的控温活化燃烧合成技术从原理上讲,是尽可能充分地利用Si-N2反应放热,一方面利用活化技术改变反应路径,降低反应活化能,同时采用控温技术,避免高温稳定相-Si3N4的生成。因此,控温活化燃烧合成技术必然更具节能、产率高的优势。而且对所有具有放热反应特征的体系具有普遍的适用性。该工艺尤其适合于气固相体系的渗透燃烧。
国际上Si3N4脱模剂的生产技术有两种:日本UBE公司的氨解法和德国Starck公司的硅粉氮化法。两种工艺都需要很长的氮化时间,一般为每周期72小时。所制备的氮化硅粉末价格也较高。UBE公司的氨解法是制备亚微米Si3N4脱模剂粉体的国际公认的最佳工艺。

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