技术成熟度：实验室技术

转让方式：技术入股

预计投资资金(万元)：500-1000万元

成果简述：气体传感器在大气环境检测、工业尾气监控、公共安全预警、家用煤气报警等领域具有重要的应用价值。电阻型气体传感器因其价格优势占据着主要市场地位。目前，在电阻型气体传感器领域，日本费加罗公司因其综合实力占据传感器高中端市场；国内的纬盛等公司也占据一定的传感器市场份额，但主要用于低端市场。国际上该类传感器目前的最佳性能指标为(以对酒精气体为例)：检测极限10ppm,响应时间5s量级，功耗300mW以上，选择性采用掺杂或表面修饰等方法实现，器件制造重复性和一致性一般，需要单个传感器矫正程序。针对当前特殊领域应用需求，如针对生化毒剂等高毒性气体的在线高灵敏快速检测和监控，目前传感器主要问题在于检测极限不够低、功耗太大、响应较慢，制造重复性和器件一致性差，另外由于综合性能不足难以实现传感器网络化和系统集成应用。
本项目团队通过对纳米材料和微加工技术的有机融合，发展了一种基于有序纳米结构阵列的电阻型气体传感器。以酒精气体为例，该类传感器检测极限达10ppb量级，响应时间在1秒量级，制造重复性和器件一致性好，可实现规模化生产，综合性能优异，可用于物联网用传感器；特别的，该类传感器对沙林等生化毒剂显示出优异的敏感特性和选择特性。目前，他们已获得该类传感器样机，实现了器件和功能应用的集成。